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Carrier.S100-OB.Z 物镜⾃动对焦扫描台
详细信息| 询价留言品牌：卓立汉光 型号：Carrier.S100-OB.Z 加工定制：否 压电 · ⼤范围扫描运动 — Carrier.S100-OB.Z
室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
Carrier.S100-OB.Z 物镜⾃动对焦扫描台产品特⾊
• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；
• 闭环定位精度优于 1nm；
• *⼤负载 500 g；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)选件升级
Carrier.S100-OB.Z 物镜⾃动对焦扫描台 — 技术参数
可选版本 ⇨
正常版本
.NM 绝对⽆磁版本；
.HV， ⾼真空版本 ;
.UHV ，超⾼真空版本；
1
运动⽅向
Z 轴
2
⾏程
100 um
3
线性度
0.02%
4
摇摆 / 俯仰
30 urad
5
内置传感器
电容式传感
6
传感器噪⾳
0.3 nm
7
Z ⽅向分辨率，开环
0.1 nm
8
稳定时间 (90%位置到达)
15 ms
0.4 N/um
9
刚性
10
共振频率(⽆负载)
650 Hz
11
共振频率( 150 g 负载)
275 Hz
12
整体重量
270 g
13
不锈钢304 ，铝合⾦
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