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大范围压电扫描台Carrier.S200.XY
详细信息| 询价留言品牌：卓立汉光 型号：Carrier.S200.XY 加工定制：否 室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
⼤范围压电扫描台Carrier.S200.XY产品特⾊
• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；
• 闭环定位精度优于 1nm；
• *⼤负载 500 g；
• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；
• ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)选件升级
Carrier.S200.XY ⼤范围压电扫描台 — 技术参数
可选版本 ⇨
正常版本
.NM 绝对⽆磁版本；
.HV， ⾼真空版本 ;
.UHV ，超⾼真空版本；
1 底⾯尺⼨*⾼度
180 mm × 150 mm × 20 mm
2 主体材料
铝合⾦
3 中空透孔
80 mm × 60 mm
4 运动⾏程
200 um × 200 um
5 闭环分辨率
优于1nm
6 推荐*⼤负载
500 g
7 闭环传感器
电容式
8 电容精度
0.3 nm
9 压电电容(X, Y)
6.5 uF
15 到 40 摄⽒度
10 推荐使⽤温度
11 质量
1 kg
12 安装
螺纹孔⾃动兼容 Carrier.L7550.XY
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