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大范围压电扫描台Carrier.L7550.XY
详细信息| 询价留言室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ 大行程载物台 — 精密光学，半导体表征
产品特⾊• XY ⽅向⼤⾏程 75 mm × 50 mm
• *⼩步伐尺⼨约20 nm
• *⾼速度 20 mm/s
• 闭环传感，空间分辨率 100 nm / 10 nm
• 全⾏程运动中，保证通孔 85 mm × 65 mm
• ⽀持⽆磁 ( .NM ) & 超⾼真空 ( .UHV )
• 主体铝合⾦(硬质氧化发⿊)
2D ·尺⼨图
Carrier.L7550.XY ⼤范围压电扫描台 — 技术参数
可选版本 ⇨
正常版本
.NM
.HV
.UHV
.NM 绝对⽆磁版本；
.HV， ⾼真空版本 ;
.UHV ，超⾼真空版本；
1 运动⽅向
X Y
2 外形尺⼨
250 mm × 200 mm × 30 mm
3 必须安装空间
325 mm × 250 mm
4 有效穿孔
85 mm × 65 mm
5 主体材料
铝合⾦
6 线缆 & 接头
标准屏蔽线缆
DSub9 接头
kapton漆包线，
PEEK-2mm插针
7 ⼯作温度
10 – 40 °C
运动参数-空间推荐安装形式 I. (下列性质均在推荐安装形式下测得)
8 运动⾏程
75 mm × 50 mm
9 *⼤速度
~ 20 mm/s
10 *⼩步伐
~ 30 nm
11 驱动频率
Max. 20 kHz (超安静运动)
12 *⼤负载
2 kg
13 全⾏程俯仰/偏摆
0.8 mrad
传感精度
14 位置传感类型
- 电阻型传感( .R )
- 光栅尺传感( .O )
75 mm × 50 mm
15 位置传感量程
- 电阻型传感( .R )， 100-200 nm
- 光栅尺传感( .O )， 10 nm， 1nm可选(默认 10nm)
16 位置传感分辨率
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