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六自由度并联运动台卓立汉光
详细信息| 询价留言品牌：卓立汉光 型号：Free6D.3-2.070 加工定制：是 六自由度并联运动台 — Free6D.3-2.070
产品特色
· 超安静运动
· 纳米级分辨率
· 断电位置自保持
· 并联驱动结构
· 内置高精度光学位置传感器
· 高刚性系统
产品图片&尺寸
产品参数
1
可选版本
.HV，高真空版本;
.UHV，超高真空版本；
.NM，完全无磁版本；
2
外形尺寸
Ø70 × 65 mm
3
主体材料
标准版，.HV，.UHV 铝合金，钢：400 g；,NM 纯钛，陶瓷：600 g
4
*大垂直负载
300 g
5
运动行程 X，Y，Z
± 5 mm，± 5 mm，± 2.5 mm
6
运动行程 θX，θY ，θZ *
± 16 °,± 13 °,± 26 °
7
单向重复精度 X，Y，Z *
± 0.15 μm，± 0.15 μm，± 0.1 μm
8
单向重复精度θX，θY，θZ
± 8 μrad，± 8 μrad，± 8 μrad
9
*小步伐 X，Y，Z
10 nm，10 nm，10 nm
10
*小步伐 θX，θY，θZ
1 μrad，1 μrad，1 μrad
11
传感器类型
光学位置传感器
12
位置传感器分辨率
2 nm
13
线缆 & 接头
默认：屏蔽线缆D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包线，D-Sub15 (PEEK)
14
控制器规格
MC-Free6D
六自由度并联运动台 — Free6D.3-2.150
产品特色
· 超安静运动
· 纳米级分辨率
· 断电位置自保持
· 并联驱动结构
· 内置高精度光学位置传感器
· 高刚性系统
产品图片&尺寸
产品参数1
可选版本
.HV，高真空版本;
.UHV，超高真空版本；
.NM，完全无磁版本；
2
外形尺寸
Ø150 × 90 mm
3
主体材料
标准版，.HV，.UHV 铝合金，钢：1.4 kg；,NM 纯钛，陶瓷：2.1 kg
4
*大垂直负载
1 kg
5
中空孔径
Ø40 mm
6
运动行程 X，Y，Z *
± 10 mm，± 10 mm，± 5 mm
7
运动行程 θX，θY ，θZ *
± 9 °,± 8 °,± 14 °
8
单向重复精度 X，Y，Z
± 0.15 μm，± 0.15 μm，± 0.1 μm
9
单向重复精度 θX，θY，θZ
± 5 μrad，± 5 μrad，± 5 μrad
10
*小步伐 X，Y，Z
10 nm，10 nm，10 nm
11
*小步伐 θX，θY，θZ
1 μrad，1 μrad，1 μrad
12
传感器类型
光学位置传感器
13
位置传感器分辨率
2 nm
14
线缆 & 接头
默认：屏蔽线缆D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包线，D-Sub15 (PEEK)
15
控制器规格
MC-Free6D
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联系方式
- 联系人：市场部
- 电 话：010-56370168-696
- 手 机：13810146393
- 传 真：010-56370168
- 邮 编：101102
- 地 址：北京市中关村科技园区通州园金桥产业基地环科中路16号,联东U谷中试区68号B座
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http://www.bjzolix.com
