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卓立汉光三自由度并联运动台
详细信息| 询价留言品牌：卓立汉光 型号：Free3D.ZTxTy.070 加工定制：是 三自由度并联运动台 — Free3D.ZTxTy.070
产品特色· 超安静运动
· 纳米级分辨率
· 断电位置自保持
· 并联驱动结构
· 内置高精度光学位置传感器
· 灵活高的可定制方案
产品图片&尺寸
产品参数
1
可选版本
.HV,高真空版本；
.UHV,超高真空版本；
.NM,完全无磁版本；2
外形尺寸
Ø70×82 mm
3
主体材料
标准版， .HV,.UHV铝合金，钢：800 g;,NM纯钛，陶瓷：460 g
4
*大垂直负载
5 kg
5
中空孔径
Ø10 mm
6
运动行程Z,θX,θY*
±2.5 mm,±9°,±10°
7
单向重复精度Z,θX,θY
±0.2 μm,±8μrad,±8μrad
8
*小步伐Z,θX,θY
10 nm,1 μrad,1μrad
9
传感器类型
光学位置传感器
10
位置传感器分辨率
2 nm
11
线缆&接头
默认：屏蔽线缆D-Sub15;.UHV版本： Kapton漆包线， D-Sub15(PEEK)
12
控制器规格
MC-Free3D
三自由度并联运动台 — Free3D.ZTxTy.100
产品特色
· 超安静运动
· 纳米级分辨率
· 断电位置自保持
· 并联驱动结构
· 内置高精度光学位置传感器
· 灵活的可定制方案
产品图片&尺寸
产品参数
1
可选版本
HV，高真空版本；UHV，超高真空版本；NM，完全无磁版本；
2
外形尺寸
Ø100 × 78 mm
3
主体材料
标准版，+HV，+UHV 铝合金，铜：1010 g；NM 纯钛，陶瓷：580 g
4
*大垂直负载
500 g
5
中空孔径
Ø20 mm
6
运动行程 Z, 6X, 6Y*
0–20 mm, ± 30°, ± 30°
7
单向重复精度 Z, 6X, 6Y*
± 0.2 μm, ± 10 μrad, ± 10 μrad
8
*小步优 Z, 6X, 6Y*
10 nm, 1 μrad, 1 μrad
9
传感器类型
光学位置传感器
10
位置传感器分辨率
2 nm
11
线缆 & 接头
默认：屏蔽线缆 D-Sub15；UHV 版本：Kapton 涂层线缆，D-Sub15 (PEEK)
12
控制器规格
MC-Free3D
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联系方式
- 联系人：市场部
- 电 话：010-56370168-696
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- 邮 编：101102
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