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手动位移台-六维超高精密手动位移台
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◆Tx:13mm
◆Ty:13mm
◆Tz:13mm
◆θx:-10°~10°◆θy:-2°~4°
◆θz:-4°~4°
◆灵敏度:1μm
◆X.Y.Z轴直线度:<3μm
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